氣體質量流量控制器通常用于測量小流量氣體，究竟是一個什么樣的東西？與其他氣體流量計相比有什么不同？有什么特點？

1.質量流量與體積流量有什么區別？

許多研究和工業生產過程中，重要的變量是質量而非體積。由于溫度或壓力變化會對氣體體積氣體密度產生影響，體積流量測量到的大小就會隨之改變，但是氣體的整體質量不會隨著溫度或壓力的變化而變化。

相同質量不同溫度和壓力的體積變化

與轉子流量計（可變面積流量計）或渦輪流量計等體積流量測量裝置不同，質量流量控制器不受入口流量的溫度和壓力波動影響。質量流量控制器可直接測量質量流量。大多數其他方法測量體積流量需要單獨測量溫度和壓力，以計算密度，最終計算質量流量。

質量流量控制器在氣體分子層面上測量流量，因而可提供高精準、高重復性和可靠的氣體傳輸中。

2.熱式質量流量控制器測量原理的優勢

熱式質量流量控制器測量原理

熱式毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量，此原理不需要溫度壓力進行補償，通過傳感器加熱測得的信號送入信號放大器進行放大，設定的電壓與放大后的流量檢測電壓進行相互比較，把兩者的信號差值再進行二次放大后最終控制調節閥門，最終閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。

熱式氣體質量流量控制器是目前測定小流量氣體常用的儀表。自從20世紀70年代中期推行以來，儀表經歷了相當大的發展，從模擬量到數字量，從小流量到大流量，從實驗室應用到工業環境甚至危險區域應用。幾乎所有小流量氣體應用都有適合的熱式氣體質量流量控制器。用于小流量氣體測量和應用的其他測量原理包括科里奧利流量測量控制和差壓測量控制。

3.差壓測量流量控制器

根據哈根泊肅葉定律可知，壓差和氣體的流量有線性關系，包括氣體溫度以及所用氣體的密度和動態粘度。相比之下，熱式質量流量控制器不易受到工藝中壓力變化的影響，熱式流量測量中本質上更準確。

層流差壓原理